[实用新型]一种气相沉积炉的炉压报警系统

说明书

本实用新型涉及一种气相沉积炉的炉压报警系统，所述的报警系统包括信号隔离器、数字记录仪、中间继电器和报警回路，沉积炉的炉膛内安装真空探头，真空探头的信号输出端连接信号隔离器的信号输入端，信号隔离器的信号输出端设成两路，信号隔离器的信号输出端一路连接真空表，信号隔离器的信号输出端另一路连接数字记录仪，数字记录仪通过线路与报警器连接成报警回路。所述的报警系统可以使工作人员第一时间收到沉积炉内真空异样的信号，从而第一时间采取补救措施，避免产品质量事故的发生。数字记录仪可以记录、保存每次报警时间，便于复查及故障排除；而且使用具有灵活性，数字记录仪可任意调节报警上限值，适用性更强。

技术领域

本实用新型涉及一种气相沉积炉的炉压报警系统，属于报警系统技术领域。

背景技术

沉积炉是一种大功率加热电炉，炉膛较大，正常工作时需要依靠多台真空泵持续运转形成一定的炉内负压，同时通入一定流量的气体，在特定温度下裂解，对炉内工件进行增密，温度、气体流量和炉内压力都要控制准确。在实际生产过程中，由于真空泵故障或炉体密封胶圈破损容易导致炉膛压力值增高，这是沉积炉工作过程中极易出现的问题，从而影响工件沉积效果，造成质量事故。

常规的沉积炉配电柜中一般装配有真空表，用于显示沉积炉内的真空状况，常规的生产过程中，工组人员的巡检记录间隔为半小时，如果沉积炉内的真空状况出现异样，故障发现时间延迟，工组人员无法第一时间发现，从而导致产品质量事故。

实用新型内容

本实用新型针对现有技术存在的不足，提供一种气相沉积炉的炉压报警系统，所述的报警系统可以使工作人员第一时间收到沉积炉内真空异样的信号，从而第一时间采取补救措施，避免产品质量事故的发生。

本实用新型解决上述技术问题的技术方案如下：一种气相沉积炉的炉压报警系统，所述的报警系统包括信号隔离器、数字记录仪、中间继电器和报警回路，沉积炉的炉膛内安装真空探头，所述真空探头的信号输出端连接信号隔离器的信号输入端，所述信号隔离器的信号输出端设成两路，所述信号隔离器的信号输出端一路连接真空表，所述信号隔离器的信号输出端另一路连接数字记录仪，所述数字记录仪通过线路与报警器连接成报警回路。

本实用新型的有益效果是：真空探头感应到沉积炉内的真空状况，将沉积炉内的压力信号转化成对应的模拟信号，信号隔离器将模拟信号等值复制，通过真空表显示沉积炉内的真空数值，另外，数字记录仪将模拟信号转换成数字信号，而且数字记录仪内设定有压力上限值，当数字记录仪收到的沉积炉内压力达到压力上限值时，数字记录仪就会接通报警回路，报警器发出报警信号，从而实现实时报警，工作人员及时发现异常，避免导致产品质量事故；另外，可以使沉积炉的运行状况具有可追随性，数字记录仪可以记录、保存每次报警时间，便于复查及故障排除；而且使用具有灵活性，每次不同的送气工艺流量，沉积炉的炉膛工作负压值不同，报警上限不同，数字记录仪可任意调节报警上限值，适用性更强。所述的报警系统操作简单，值班人员简单的培训即可掌握。

在上述技术方案的基础上，本实用新型还可以做如下改进：

进一步的，所述的报警回路包括电源、中间继电器线圈、数字记录仪报警输出触点和中间继电器触点，所述中间继电器线圈、所述数字记录仪报警输出触点与所述电源构成串联回路，所述中间继电器触点、所述报警器与所述电源构成串联回路。

采用上述进一步方案的有益效果是：当数字记录仪收到的真空压力信号达到报警上限值，则数字记录仪报警输出触点就会闭合，从而中间继电器线圈得电，进而中间继电器触点闭合，报警器得电，从而发出报警信号；中间继电器的设置可以驱动大功率的报警器，从而排出车间的噪声干扰。

进一步的，所述的电源为220V交流电源，所述报警回路上设有电源总开关。

采用上述进一步方案的有益效果是：电源总开关的设置可以控制整个报警系统的通电情况。

进一步的，所述的报警回路上串联有熔断器，所述熔断器串联在所述电源的火线上。