[实用新型]一种上盖及真空干燥装置有效
| 申请号： | 202220390442.1 | 申请日： | 2022-02-25 |
| 公开（公告）号： | CN216817172U | 公开（公告）日： | 2022-06-24 |
| 发明（设计）人： | 王帅 | 申请（专利权）人： | 昆山龙腾光电股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/38 | 分类号： | G03F7/38 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 袁微微 |
| 地址： | 215301 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及显示面板制造设备技术领域，公开了一种上盖及真空干燥装置。真空干燥装置包括上盖和底座，上盖扣合在底座上，上盖上开设有制程凹槽，当上盖盖设于底座上后围设形成制程腔室，上盖上还开设有压力平衡腔室，压力平衡腔室与制程凹槽至少共用一个壁板，压力平衡腔室与制程腔室保持相同的压力。本实用新型的上盖中制程腔室的壁板不会发生凹陷变形，从而保证制程腔室形状稳定、压力变化均匀，进而保证玻璃基板的良品率，且从根本上杜绝了制程腔室壁板的变形，不需要定期检测和更换，从而能提高生产效率、减少人力需求、降低生产成本。真空干燥装置通过采用上述上盖，良品率高、生产效率高、成本低，人力需求少。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空 干燥 装置 | ||
【主权项】：
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