[实用新型]一种具有辅助抽气功能的抽气系统有效
| 申请号： | 202220362781.9 | 申请日： | 2022-02-22 |
| 公开（公告）号： | CN216842111U | 公开（公告）日： | 2022-06-28 |
| 发明（设计）人： | 莫超超;刘浏;董刚强;彭孝龙;张永胜 | 申请（专利权）人： | 苏州迈为科技股份有限公司 |
| 主分类号： | F04B37/14 | 分类号： | F04B37/14;F04B39/12;F04B39/10;F04B39/00;F04B39/16 |
| 代理公司： | 北京金智普华知识产权代理有限公司 11401 | 代理人： | 徐会娟 |
| 地址： | 215200 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种具有辅助抽气功能的抽气系统，涉及镀膜设备技术领域，能够进行前后两个阶段的抽气，在保证硅片无损伤的情况下，显著缩短抽气时间。该系统包括加载互锁腔体、主抽气管路、辅助抽气管路和主控单元；主抽气管路的第一端和辅助抽气管路的第一端均与加载互锁腔体连通，主抽气管路的第二端和辅助抽气管路的第二端均与同一抽真空动力设备连接或分别与不同的抽真空动力设备连接；主抽气管路包括匀气板、主抽气管道和第一开关；主抽气管道的第一端与匀气板连接，第一开关设于主抽气管道上；辅助抽气管路包括辅助抽气管道和第二开关；第二开关设于辅助抽气管道上；第一开关和第二开关均与主控单元连接。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 辅助 功能 系统 | ||
【主权项】：
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