[实用新型]一种具有辅助抽气功能的抽气系统

说明书

本实用新型提供了一种具有辅助抽气功能的抽气系统，涉及镀膜设备技术领域，能够进行前后两个阶段的抽气，在保证硅片无损伤的情况下，显著缩短抽气时间。该系统包括加载互锁腔体、主抽气管路、辅助抽气管路和主控单元；主抽气管路的第一端和辅助抽气管路的第一端均与加载互锁腔体连通，主抽气管路的第二端和辅助抽气管路的第二端均与同一抽真空动力设备连接或分别与不同的抽真空动力设备连接；主抽气管路包括匀气板、主抽气管道和第一开关；主抽气管道的第一端与匀气板连接，第一开关设于主抽气管道上；辅助抽气管路包括辅助抽气管道和第二开关；第二开关设于辅助抽气管道上；第一开关和第二开关均与主控单元连接。

技术领域

本实用新型涉及镀膜设备技术领域，尤其涉及一种具有辅助抽气功能的抽气系统。

背景技术

对于现在太阳能电池生产线用的PVD设备，市场提出提升产能的需求。因此PVD设备中Load-lock chamber(加载互锁腔体)的抽气时间需要尽量缩短。对于Load-lockchamber抽气的问题，现在有两个技术要求：a：抽气的过程尽量平顺，保持硅片无损伤；b：硅片无损伤的前提下，加快抽气速度。

现有配置状态如图1所示，为了满足硅片无损伤以及快速抽气的要求，Load-lockchamber的抽气系统配置为：主抽气管道+匀气板的快抽气配置，也就是：主抽气管道同(腔体内)匀气板相连接。

这种配置存在的问题是：长时间使用的载板在大气中吸收部分水分，而在真空状态中水汽本身挥发性差，水气排出缓慢，从而导致载板在Load-lock chamber的抽气阶段的抽气速度也相应缓慢。

因此，有必要研究一种新的辅助抽气系统来应对现有技术的不足，以解决或减轻上述一个或多个问题。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型提供了一种具有辅助抽气功能的抽气系统，能够进行前后两个阶段的抽气，在保证硅片无损伤的情况下，显著缩短抽气时间。

本实用新型提供一种具有辅助抽气功能的抽气系统，其特征在于，所述系统包括加载互锁腔体、主抽气管路、辅助抽气管路和主控单元；

所述主抽气管路的第一端和所述辅助抽气管路的第一端均与所述加载互锁腔体连通，所述主抽气管路的第二端和所述辅助抽气管路的第二端均与同一抽真空动力设备连接或分别与不同的抽真空动力设备连接；

所述主抽气管路包括匀气板、主抽气管道和第一开关；所述主抽气管道的第一端与所述匀气板连接，所述第一开关设于所述主抽气管道上；

所述辅助抽气管路包括辅助抽气管道和第二开关；所述第二开关设于所述辅助抽气管道上；

所述第一开关和所述第二开关均与所述主控单元连接。

上述的第一端均指靠近加载互锁腔体的一端。

如上所述的方面和任一可能的实现方式，进一步提供一种实现方式，所述匀气板设于所述加载互锁腔体内部。

如上所述的方面和任一可能的实现方式，进一步提供一种实现方式，所述辅助抽气管路的第一端与所述加载互锁腔体的连通口为大口径孔，所述大口径孔是相对于匀气板的细小匀气孔而言的，大口径孔更有利于在低气压(近真空)状态下实现有效抽气。

如上所述的方面和任一可能的实现方式，进一步提供一种实现方式，所述第一开关和所述第二开关均为电动或气动等可远程控制的开关阀。

如上所述的方面和任一可能的实现方式，进一步提供一种实现方式，所述加载互锁腔体内设有气压测量设备，所述气压测量设备与所述主控单元电连接。

如上所述的方面和任一可能的实现方式，进一步提供一种实现方式，所述抽真空动力设备为真空泵或真空泵组。

如上所述的方面和任一可能的实现方式，进一步提供一种实现方式，所述抽真空动力设备与所述主控单元电连接。