[实用新型]一种具有辅助抽气功能的抽气系统有效
申请号: | 202220362781.9 | 申请日: | 2022-02-22 |
公开(公告)号: | CN216842111U | 公开(公告)日: | 2022-06-28 |
发明(设计)人: | 莫超超;刘浏;董刚强;彭孝龙;张永胜 | 申请(专利权)人: | 苏州迈为科技股份有限公司 |
主分类号: | F04B37/14 | 分类号: | F04B37/14;F04B39/12;F04B39/10;F04B39/00;F04B39/16 |
代理公司: | 北京金智普华知识产权代理有限公司 11401 | 代理人: | 徐会娟 |
地址: | 215200 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 具有 辅助 功能 系统 | ||
1.一种具有辅助抽气功能的抽气系统,其特征在于,所述系统包括加载互锁腔体、主抽气管路、辅助抽气管路和主控单元;
所述主抽气管路的第一端和所述辅助抽气管路的第一端均与所述加载互锁腔体连通,所述主抽气管路的第二端和所述辅助抽气管路的第二端均与同一抽真空动力设备连接或分别与不同的抽真空动力设备连接;
所述主抽气管路包括匀气板、第一管道和第一开关;所述第一管道的第一端与所述匀气板连接,所述第一开关设于所述第一管道上;
所述辅助抽气管路包括第二管道和第二开关;所述第二开关设于所述第二管道上;
所述第一开关和所述第二开关均与所述主控单元连接。
2.根据权利要求1所述的具有辅助抽气功能的抽气系统,其特征在于,所述匀气板设于所述加载互锁腔体内部。
3.根据权利要求1所述的具有辅助抽气功能的抽气系统,其特征在于,所述辅助抽气管路的第一端与所述加载互锁腔体的连通口为大口径孔。
4.根据权利要求1所述的具有辅助抽气功能的抽气系统,其特征在于,所述第一开关和所述第二开关均为远程控制开关阀。
5.根据权利要求1所述的具有辅助抽气功能的抽气系统,其特征在于,所述加载互锁腔体内设有气压测量设备,所述气压测量设备与所述主控单元电连接。
6.根据权利要求1所述的具有辅助抽气功能的抽气系统,其特征在于,所述抽真空动力设备为真空泵或真空泵组。
7.根据权利要求1所述的具有辅助抽气功能的抽气系统,其特征在于,所述抽真空动力设备与所述主控单元电连接。
8.根据权利要求1所述的具有辅助抽气功能的抽气系统,其特征在于,所述第一管道和所述第二管道远离所述加载互锁腔体的一端均与第三管道的第一端连通,所述第三管道的第二端与同一抽真空动力设备连接。
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