[实用新型]沉积装置有效
| 申请号： | 202220316279.4 | 申请日： | 2022-02-16 |
| 公开（公告）号： | CN217239386U | 公开（公告）日： | 2022-08-19 |
| 发明（设计）人： | 薛建锋;王永洁;余义;苏世杰 | 申请（专利权）人： | 通威太阳能（安徽）有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01L31/18;C23C16/24;C23C16/509;C23C16/48 |
| 代理公司： | 华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 侯武娇 |
| 地址： | 230031 安徽省合肥市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种沉积装置，包括沉积腔体、射频电源、阴极模组、光注入模组及载板。沉积腔体内部为密闭的沉积腔室，沉积腔体顶部设有第一进气口，用于通入工艺气体。阴极模组设于沉积腔室内，并与射频电源电连接以激发产生电场，使通入的工艺气体电离。光注入模组与阴极模组交替设置，用于光照促进膜层中的氢原子扩散。通过交替设置阴极模组及光注入模组，用于制备异质结电池的非晶硅膜层能够兼顾非晶硅膜层导电性能和钝化性能。 | ||
| 搜索关键词： | 沉积 装置 | ||
【主权项】：
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