[实用新型]一种可视化的线源坩埚装置

摘要

本实用新型公开了一种可视化的线源坩埚装置，包括坩埚底座，坩埚底座的上端通过锁紧机构安装有坩埚上盖，坩埚底座的左右两侧以及正面通过第一螺栓分别安装有左侧透明视窗、右侧透明视窗和正面透明视窗，左侧透明视窗、右侧透明视窗和正面透明视窗与坩埚底座之间的接触处设有第二石墨垫片；左侧透明视窗、右侧透明视窗和正面透明视窗分别与CCD镜头对应搭配，本实用新型通过对应3个CCD镜头实时拍照确认，以实现可视化及实时监控的目的，能够解决现有制程中若材料在使用过程中发生裂解或氧化影响产品性能未及时被发现而导致一定数量的产品浪费的问题，降低良率损耗。