[实用新型]一种可视化的线源坩埚装置

说明书

本实用新型公开了一种可视化的线源坩埚装置，包括坩埚底座，坩埚底座的上端通过锁紧机构安装有坩埚上盖，坩埚底座的左右两侧以及正面通过第一螺栓分别安装有左侧透明视窗、右侧透明视窗和正面透明视窗，左侧透明视窗、右侧透明视窗和正面透明视窗与坩埚底座之间的接触处设有第二石墨垫片；左侧透明视窗、右侧透明视窗和正面透明视窗分别与CCD镜头对应搭配，本实用新型通过对应3个CCD镜头实时拍照确认，以实现可视化及实时监控的目的，能够解决现有制程中若材料在使用过程中发生裂解或氧化影响产品性能未及时被发现而导致一定数量的产品浪费的问题，降低良率损耗。

技术领域

本实用新型属于OLED技术领域，具体涉及一种可视化的线源坩埚装置。

背景技术

OLED（Organic Light-Emitting Diode）是一种电致发光器件，主要用于制造OLED显示器。OLED按照驱动方式的不同可分为无源驱动（PMOLED）和有源驱动（AMOLED）。PMOLED的结构较简单、驱动电压高，适合应用在低分辨率面板上，如手环、智能手表等。AMOLED工艺较复杂、驱动电压低、发光元件寿命长，适合应用在高分辨率的面板上，如手机、电视、电脑、平板、VR设备、车载显示等。AMOLED是目前OLED屏幕的主流技术。

蒸镀是AMOLED中的关键工艺，其通过高温加热，坩埚内的有机材料受热升华或者气化，最终凝结在玻璃基板上，通过不同功能层的搭配，形成OLED器件结构，最终在电压驱动下发出RGB光色。有机材料的好坏直接决定器件的效果，若温度控制不佳或腔体真空环境不好，材料在长时间过温状况下会发生裂解，亦或在接触水氧情况下会发生氧化降低纯度，最终导致器件各项参数不达标，无法满足使用需求。通常判断蒸镀有机材料的好坏是通过纯度检测与材料颜色观察相结合。为此，我们提出一种可视化的线源坩埚装置，以解决上述背景技术中提到的问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种可视化的线源坩埚装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种可视化的线源坩埚装置，包括坩埚底座，所述坩埚底座的内腔底部设有有机材料，所述坩埚底座的上端通过锁紧机构安装有坩埚上盖，锁紧机构包括坩埚底座上端外侧以及坩埚上盖下端外侧设有的连接框，两组连接框之间设有第一石墨垫片，所述坩埚底座的左右两侧以及正面通过第一螺栓分别安装有左侧透明视窗、右侧透明视窗和正面透明视窗，所述左侧透明视窗、右侧透明视窗和正面透明视窗与坩埚底座之间的接触处设有第二石墨垫片；

所述左侧透明视窗、右侧透明视窗和正面透明视窗分别与CCD镜头对应搭配，左侧透明视窗和右侧透明视窗对应的CCD镜头拍摄范围分别覆盖延中轴线对称的左右各半区域，正面透明视窗对应的CCD镜头拍摄范围包括坩埚底座宽度方向的全部区域。

两组连接框的表面设有卡扣，上下两组卡扣之间通过第二螺栓紧固连接。所述第二螺栓依次贯穿上侧的卡扣、上侧的连接框、下侧的连接框和下侧的卡扣。所述坩埚上盖上端设有若干组等间距分布的出料口。

一种可视化的线源坩埚装置的材料监控方法，具体包括以下步骤：

S1、新基板传入蒸镀腔体，坩埚开始往复运动实现镀膜，镀膜结束，坩埚回到初始位置；

S2、左右两侧以及正面的CCD镜头进行拍照；

S3、通过CCD镜头拍摄到的照片，人工判断材料是否良好；

材料良好，则继续下一膜层蒸镀，材料不良，则开腔测试材料纯度，纯度不符合规格，则更换新材料，纯度符合规格，则重新传入蒸镀腔体。

由于在蒸镀时，对线源坩埚的加热一般分为左中右共3个区域，故需对坩埚的左中右共三个区域进行监控。所以设计正面以及左右侧面设计共3个透明视窗（即左侧透明视窗、右侧透明视窗和正面透明视窗），对应视窗搭配CCD镜头。