[实用新型]一种可视化的线源坩埚装置有效

专利信息
申请号: 202220302533.5 申请日: 2022-02-15
公开(公告)号: CN216765033U 公开(公告)日: 2022-06-17
发明(设计)人: 林志斌;林泽 申请(专利权)人: 福建华佳彩有限公司
主分类号: C23C14/24 分类号: C23C14/24;C23C14/54;C23C14/12;H01L51/56
代理公司: 福州君诚知识产权代理有限公司 35211 代理人: 戴雨君
地址: 351100 福*** 国省代码: 福建;35
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摘要:
搜索关键词: 一种 可视化 坩埚 装置
【权利要求书】:

1.一种可视化的线源坩埚装置,包括坩埚底座(7),所述坩埚底座(7)的内腔底部设有有机材料(4),其特征在于:所述坩埚底座(7)的上端通过锁紧机构安装有坩埚上盖(5),锁紧机构包括坩埚底座(7)上端外侧以及坩埚上盖(5)下端外侧设有的连接框(8),两组连接框(8)之间设有第一石墨垫片(6),所述坩埚底座(7)的左右两侧以及正面通过第一螺栓(12)分别安装有左侧透明视窗(13)、右侧透明视窗(10)和正面透明视窗(11),所述左侧透明视窗(13)、右侧透明视窗(10)和正面透明视窗(11)与坩埚底座(7)之间的接触处设有第二石墨垫片;

所述左侧透明视窗(13)、右侧透明视窗(10)和正面透明视窗(11)分别与CCD镜头(9)对应搭配,左侧透明视窗(13)和右侧透明视窗(10)对应的CCD镜头(9)拍摄范围分别覆盖延中轴线对称的左右各半区域,正面透明视窗(11)对应的CCD镜头(9)拍摄范围包括坩埚底座(7)宽度方向的全部区域。

2.根据权利要求1所述的一种可视化的线源坩埚装置,其特征在于:两组连接框(8)的表面设有卡扣(1),上下两组卡扣(1)之间通过第二螺栓(2)紧固连接。

3.根据权利要求2所述的一种可视化的线源坩埚装置,其特征在于:所述第二螺栓(2)依次贯穿上侧的卡扣(1)、上侧的连接框(8)、下侧的连接框(8)和下侧的卡扣(1)。

4.根据权利要求1所述的一种可视化的线源坩埚装置,其特征在于:所述坩埚上盖(5)上端设有若干组等间距分布的出料口(3)。

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