[实用新型]一种花篮卡齿检验装置有效
| 申请号： | 202220278238.0 | 申请日： | 2022-02-11 |
| 公开（公告）号： | CN217334036U | 公开（公告）日： | 2022-08-30 |
| 发明（设计）人： | 吴平;张茂斌;吴明钦;蔡剑华 | 申请（专利权）人： | 福建钜能电力有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677;H01L21/67 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 351111 福建*** | 国省代码： | 福建;35 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型提供了一种花篮卡齿检验装置，其包含底板、定位块、导向板和可移动装置；所述定位块固定在底板上，且定位块上分布有卡齿；所述可移动装置安装在底板上；所述导向板安装在可移动装置上，并通过可移动装置在底板上沿靠近和远离定位块的方向上来回移动。该花篮卡齿检验装置通过检验花篮在移动过程中是否与定位块上卡齿相干涉，来判断制绒花篮的卡齿是否正常。可以有效检验制绒花篮卡齿，排除异常花篮，避免因花篮卡齿异常导致的硅片不良及生产效率降低等现象；同时采用检验装置检验效率更高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 花篮 检验 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于福建钜能电力有限公司，未经福建钜能电力有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202220278238.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
