[实用新型]一种颗粒物去除装置及外延设备有效
| 申请号： | 202220246298.4 | 申请日： | 2022-01-29 |
| 公开（公告）号： | CN216688417U | 公开（公告）日： | 2022-06-07 |
| 发明（设计）人： | 李佳成;王力;韩晓虎 | 申请（专利权）人： | 西安奕斯伟材料科技有限公司;西安奕斯伟硅片技术有限公司 |
| 主分类号： | C30B25/14 | 分类号： | C30B25/14;C30B25/02;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 胡永芳 |
| 地址： | 710000 陕西省西安市*** | 国省代码： | 陕西;61 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本公开提供一种颗粒物去除装置及外延设备，所述颗粒物去除装置包括排气通道，与所述炉体内腔相通，所述排气通道包括并联的排气管路和抽气管路，其中所述抽气管路上设有用于从所述炉体内腔抽气的真空泵和用于控制所述抽气管路通断状态的第一阀门。本公开实施例提供的颗粒物去除装置及外延设备能够改善外延炉内颗粒物影响，且不会降低设备稼动率，不影响产能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 颗粒 去除 装置 外延 设备 | ||
【主权项】：
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