[实用新型]一种带扫描及自动开盖功能的新型晶圆料盒放置装置

摘要

本实用新型公开了一种带扫描及自动开盖功能的新型晶圆料盒放置装置，包括料盒放置平台、上下移动机构、料盒开盖装置、晶圆检测装置和控制系统，料盒放置平台包括料盒放置平板、料盒检测装置、料盒锁死装置和料盒平台移动装置。该带扫描及自动开盖功能的新型晶圆料盒放置装置中，解决了料盒装载装置对多种晶圆传输料盒之间的兼容性，同时增加了晶圆盒内晶圆的斜插、叠插、突出等影响晶圆安全的检测，从而在保证兼容性的同时又增加了晶圆的安全性，该装置可以加装到不同的晶圆生产机器上，实现不同机器之间可以使用统一的前开式晶圆传送盒，可以实现前开式晶圆传输盒的锁死，同时可以在生产时自动把料盒的盖子打开方便取放晶圆。