[实用新型]三氟化氮制备装置有效
| 申请号： | 202220242912.X | 申请日： | 2022-01-29 |
| 公开（公告）号： | CN216935973U | 公开（公告）日： | 2022-07-12 |
| 发明（设计）人： | 崔同超;达布力干;郭宏;窦兆丁;吴凯;潘波;马雷 | 申请（专利权）人： | 乌兰察布南大微电子材料有限公司 |
| 主分类号： | B01J19/08 | 分类号： | B01J19/08;C01B21/083 |
| 代理公司： | 青岛发思特专利商标代理有限公司 37212 | 代理人： | 张贤 |
| 地址： | 012000 内蒙古自治区乌兰*** | 国省代码： | 内蒙古;15 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型属于三氟化氮生产设备领域，具体涉及一种三氟化氮制备装置，包括等离子体发生器、等离子体反应器、布袋除尘器、引风机与气体收集罐，等离子体发生器连接等离子体反应器，等离子体反应器的顶部设有顶盖，顶盖上贯穿有四氟化硅进口与氮气进口，等离子体反应器的外侧壁上设有冷凝套，冷凝套上设有冷介质进口与冷介质出口，等离子体反应器的底部设有出料口，出料口上设有出料阀，出料口与布袋除尘器之间连接有输料管，布袋除尘器与引风机之间连接有吸气管，引风机与气体收集罐之间通过排气管连接。本实用新型生产成本较低、安全性较高、副产物较少。 | ||
| 搜索关键词： | 氟化 制备 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于乌兰察布南大微电子材料有限公司，未经乌兰察布南大微电子材料有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202220242912.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种含有储能功能的核电厂灵活性综合利用装置系统
- 下一篇：低压高温蒸汽模块
