[实用新型]三氟化氮制备装置有效
| 申请号： | 202220242912.X | 申请日： | 2022-01-29 |
| 公开（公告）号： | CN216935973U | 公开（公告）日： | 2022-07-12 |
| 发明（设计）人： | 崔同超;达布力干;郭宏;窦兆丁;吴凯;潘波;马雷 | 申请（专利权）人： | 乌兰察布南大微电子材料有限公司 |
| 主分类号： | B01J19/08 | 分类号： | B01J19/08;C01B21/083 |
| 代理公司： | 青岛发思特专利商标代理有限公司 37212 | 代理人： | 张贤 |
| 地址： | 012000 内蒙古自治区乌兰*** | 国省代码： | 内蒙古;15 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 氟化 制备 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种三氟化氮制备装置，其特征在于：包括等离子体发生器(1)、等离子体反应器(7)、布袋除尘器(13)、引风机(15)与气体收集罐(17)，等离子体发生器(1)连接等离子体反应器(7)，等离子体反应器(7)的顶部设有顶盖(5)，顶盖(5)上贯穿有四氟化硅进口(3)与氮气进口(4)，等离子体反应器(7)的外侧壁上设有冷凝套(10)，冷凝套(10)上设有冷介质进口(11)与冷介质出口(6)，等离子体反应器(7)的底部设有出料口(9)，出料口(9)上设有出料阀(8)，出料口(9)与布袋除尘器(13)的进气口之间连接有输料管(12)，布袋除尘器(13)的出气口与引风机(15)的进气口之间连接有吸气管(14)，引风机(15)的出气口与气体收集罐(17)之间通过排气管(16)连接。
2.根据权利要求1所述的三氟化氮制备装置，其特征在于：所述的顶盖(5)上设有抽真空口(2)。
3.根据权利要求1或2所述的三氟化氮制备装置，其特征在于：所述的冷介质进口(11)位于冷凝套(10)的下端，冷介质出口(6)位于冷凝套(10)的上端。
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