[实用新型]一种硅片甩干机有效
| 申请号： | 202220194117.8 | 申请日： | 2022-01-24 |
| 公开（公告）号： | CN216845362U | 公开（公告）日： | 2022-06-28 |
| 发明（设计）人： | 吴则春 | 申请（专利权）人： | 山东联超电子设备有限公司 |
| 主分类号： | F26B5/08 | 分类号： | F26B5/08;F26B21/14 |
| 代理公司： | 山东舜源联合知识产权代理有限公司 37359 | 代理人： | 宋玉霞 |
| 地址： | 272100 山东省济宁*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型为一种硅片甩干机，涉及甩干机技术领域。其技术方案为：一种硅片甩干机，包括机箱和箱盖，箱盖的底面连接有喷管，喷管的侧壁上设置有喷嘴，至少一个喷嘴连接导向管，导向管的一端与喷嘴连接，导向管另一端朝向喷管底部。通过导向管将喷嘴喷出的热氮气吹向喷管底部，使喷管底部聚集的水分蒸发，随氮气一起排出甩干机，防止开盖后喷管底部的水珠低落至干燥的硅片上，造成二次污染，影响工作效率和产品合格率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 甩干机 | ||
【主权项】：
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