[实用新型]一种硅片甩干机

说明书

本实用新型为一种硅片甩干机，涉及甩干机技术领域。其技术方案为：一种硅片甩干机，包括机箱和箱盖，箱盖的底面连接有喷管，喷管的侧壁上设置有喷嘴，至少一个喷嘴连接导向管，导向管的一端与喷嘴连接，导向管另一端朝向喷管底部。通过导向管将喷嘴喷出的热氮气吹向喷管底部，使喷管底部聚集的水分蒸发，随氮气一起排出甩干机，防止开盖后喷管底部的水珠低落至干燥的硅片上，造成二次污染，影响工作效率和产品合格率。

技术领域

本实用新型涉及甩干机技术领域，尤其涉及一种硅片甩干机。

背景技术

现有的硅片甩干机，基本具有喷淋和喷射热氮气吹干两个功能，该功能主要靠安装在箱盖上的垂直喷管实现，喷管的底端密封，喷管侧壁上设置有多个喷嘴，保证喷淋和喷射热氮气能够均匀覆盖硅片，甩干机的工作过程是先喷淋再喷射热氮气吹干，喷淋完毕后喷嘴残留的水珠会大量聚集在喷管底部，热氮气吹干时，机箱内转盘转动使桶内产生大量气流，桶内温度升高，水珠会蒸发减少一部分，但是最后仍有少量水珠在喷管底部聚集，开盖时喷管移动水珠会滴到转盘上的硅片上，造成硅片的二次污染，造成产品的不合格。

发明内容

针对上述喷嘴喷淋后残留的水分蒸发不彻底，聚集在喷管底部，开盖后水珠滴下造成二次污染的问题，本实用新型提供一种硅片甩干机。

为实现上述目的，本实用新型提供以下技术方案：一种硅片甩干机，包括机箱和箱盖，箱盖的底面连接有喷管，喷管的侧壁上设置有喷嘴，喷嘴连接导向管，导向管的一端与喷嘴连接，导向管另一端朝向喷管底部。通过导向管将喷嘴喷出的热氮气吹向喷管底部，使喷管底部聚集的水分蒸发，防止开盖后喷管底部的水珠低落至干燥的硅片上，造成二次污染。

优选地，喷管为直筒状，喷管垂直箱盖布置，喷管的顶部通过管路连接水源储存装置和氮气储存装置，喷管的底部密封。通过喷管侧壁开设的喷嘴而不通过底部直接进行喷淋和喷射热氮气，能够使各个位置的硅片同步接受喷淋和干燥，清洗和干燥效果更加均匀。

优选地，导向管包括第一水平端口和第二水平端口，第一水平端口和第二水平端口之间通过弧形管连接，第一水平端口连接喷嘴，第二水平端口垂直朝向喷管底部。通过弧形管将喷嘴喷射的热氮气导向至喷管底部。

优选地，机箱内设置有工作台，工作台上安装有电机，电机传动连接转盘。电机带动转盘转动，通过离心力对转盘上的硅片进行甩干。

优选地，机箱安装在底座上，机箱与箱盖转动连接。底座可以对机箱起到支撑和缓冲保护的作用，箱盖通过转动实现开关功能。

优选地，箱盖与液压缸连接，液压缸的伸缩杆铰接箱盖，液压缸的缸体铰接铰支座，铰支座固定安装在底座上。通过液压缸带动箱盖开关，保证开关箱盖的安全性和稳定性。

本实用新型具有以下有益效果：通过导向管，将喷嘴中喷出的热氮气导向喷管的底部，喷嘴喷淋后残留的水分向下流动并被导向管中吹出的热氮气快速蒸发，无法聚集，避免了开盖后水珠滴落在干燥的硅片上导致的产品不合格，解决了甩干蒸发后水分残留导致的二次污染问题。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，对于本领域普通技术人员而言，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是现有技术的结构示意图。

图2是本实用新型具体实施方式的结构示意图。

图3是图2中A处的放大示意图。

图中：1、箱盖，2、机箱，3、底座，4、铰支座，5、液压缸，6、转盘，7、工作台，8、喷管，9、喷嘴，10、导向管，1001、第一水平端口，1002、第二水平端口，1003、弧形管。

具体实施方式