[实用新型]一种硅片甩干机有效
| 申请号： | 202220194117.8 | 申请日： | 2022-01-24 |
| 公开（公告）号： | CN216845362U | 公开（公告）日： | 2022-06-28 |
| 发明（设计）人： | 吴则春 | 申请（专利权）人： | 山东联超电子设备有限公司 |
| 主分类号： | F26B5/08 | 分类号： | F26B5/08;F26B21/14 |
| 代理公司： | 山东舜源联合知识产权代理有限公司 37359 | 代理人： | 宋玉霞 |
| 地址： | 272100 山东省济宁*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 甩干机 | ||
【权利要求书】：
1.一种硅片甩干机，其特征在于，包括机箱和箱盖，箱盖的底面连接有喷管，喷管的侧壁上设置有喷嘴，喷嘴连接导向管，导向管的一端与喷嘴连接，导向管另一端朝向喷管底部。
2.如权利要求1所述硅片甩干机，其特征在于，喷管为直筒状，喷管垂直箱盖布置，喷管的顶部通过管路连接水源储存装置和氮气储存装置，喷管的底部密封。
3.如权利要求1或2所述硅片甩干机，其特征在于，导向管包括第一水平端口和第二水平端口，第一水平端口和第二水平端口之间通过弧形管连接，第一水平端口连接喷嘴，第二水平端口垂直朝向喷管底部。
4.如权利要求1或2所述硅片甩干机，其特征在于，机箱内设置有工作台，工作台上安装有电机，电机传动连接转盘。
5.如权利要求1或2所述硅片甩干机，其特征在于，机箱安装在底座上，机箱与箱盖转动连接。
6.如权利要求4所述硅片甩干机，其特征在于，箱盖与液压缸连接，液压缸的伸缩杆铰接箱盖，液压缸的缸体铰接铰支座，铰支座固定安装在底座上。
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