[实用新型]一种超声波硅片清洗机有效
| 申请号： | 202220183135.6 | 申请日： | 2022-01-20 |
| 公开（公告）号： | CN216800909U | 公开（公告）日： | 2022-06-24 |
| 发明（设计）人： | 徐力 | 申请（专利权）人： | 洛阳杰芯电子科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/12 | 分类号： | B08B3/12;B08B3/02;B08B13/00 |
| 代理公司： | 洛阳华和知识产权代理事务所(普通合伙) 41203 | 代理人： | 李世鹏 |
| 地址： | 471003 河南省洛阳市高*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 一种超声波硅片清洗机，包括支架，支架上设置多个清洗池及喷淋池，清洗池及喷淋池的进水口与储水箱连接、出水口设置在底部，喷淋池内分布设置多个喷淋头，清洗池及喷淋池的进水口、出水口均设置电磁阀，清洗池底部设置超声波振板，超声波振板与超声波控制箱连接；清洗池内设置托架，托架上放置清洗篮，托架与支架外侧的滑动杆固接，滑动杆上下滑动设置在支架外侧，滑动杆底端设置顶板，顶板下方设置与其匹配的凸轮，凸轮固接在传动轴上，传动轴一端连接有电机；所述电机、电磁阀、超声波控制箱均与支架外侧的电控箱连接。在使用超声波进行振动除杂质的同时，托架带动清洗篮中的硅片上下移动，使得硅片能清洗的更彻底。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 超声波 硅片 清洗 | ||
【主权项】：
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