[实用新型]一种超声波硅片清洗机

权利要求书

1.一种超声波硅片清洗机，包括支架，其特征在于：支架上设置多个清洗池及喷淋池，清洗池及喷淋池的进水口与储水箱连接、出水口设置在底部，喷淋池内分布设置多个喷淋头，清洗池及喷淋池的进水口、出水口均设置电磁阀，清洗池底部设置超声波振板，超声波振板与超声波控制箱连接；清洗池内设置托架，托架上放置清洗篮，托架与支架外侧的滑动杆固接，滑动杆上下滑动设置在支架外侧，滑动杆底端设置顶板，顶板下方设置与其匹配的凸轮，凸轮固接在传动轴上，传动轴一端连接有电机；所述电机、电磁阀、超声波控制箱均与支架外侧的电控箱连接。

2.根据权利要求1所述的一种超声波硅片清洗机，其特征在于：所述支架通过其底面设置的支脚支撑设置在基础面上。

3.根据权利要求1所述的一种超声波硅片清洗机，其特征在于：所述超声波振板通过支腿支撑在清洗池底部。

4.根据权利要求1所述的一种超声波硅片清洗机，其特征在于：所述滑动杆穿设并滑动设置在支架外侧固定的滑动导套上。

5.根据权利要求1所述的一种超声波硅片清洗机，其特征在于：所述储水箱与清洗池、喷淋池通过总管道及分支管道连接，分支管道与清洗池、喷淋池一一对应，总管道及分支管道上均设置电磁阀。

6.根据权利要求1所述的一种超声波硅片清洗机，其特征在于：所述清洗池及喷淋池一字排开，喷淋池设置一个且位于中间位置。

7.根据权利要求6所述的一种超声波硅片清洗机，其特征在于：位于所述喷淋池同一侧的清洗池的托架与同一根横杆连接，横杆的延伸方向与清洗池的分布方向平行，横杆与多根滑动杆连接。

8.根据权利要求6所述的一种超声波硅片清洗机，其特征在于：位于所述喷淋池同一侧的滑动杆所匹配的凸轮均设置在同一根传动轴上。

9.根据权利要求1所述的一种超声波硅片清洗机，其特征在于：所述清洗池内设置刻度，所述清洗篮上下移动时始终位于清洗池的水面下，清洗篮上的把手始终位于水面上。

10.根据权利要求1所述的一种超声波硅片清洗机，其特征在于：所述喷淋池靠近底部的侧壁设置回收管，回收管通过管道与支架外侧设置的喷淋箱连接，喷淋箱的底部设置出水口，并通过管道与喷淋头连接，喷淋箱的出水口与喷淋头之间设置泵；喷淋箱内设置水位传感器。