[实用新型]一种碳化硅腐蚀设备有效
| 申请号： | 202220154398.4 | 申请日： | 2022-01-20 |
| 公开（公告）号： | CN216947291U | 公开（公告）日： | 2022-07-12 |
| 发明（设计）人： | 王蓉;李佳君;皮孝东;沈典宇;杨德仁 | 申请（专利权）人： | 浙江大学杭州国际科创中心 |
| 主分类号： | C30B33/10 | 分类号： | C30B33/10;C30B29/36 |
| 代理公司： | 杭州五洲普华专利代理事务所(特殊普通合伙) 33260 | 代理人： | 姚宇吉 |
| 地址： | 310000 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型属于半导体技术领域，尤其涉及一种碳化硅腐蚀设备。该设备包括加热部、预热部和连接部，坩埚和加热腔之间固定有隔离套，预热腔内壁固定有隔离贴片，连接部设有上垫、下垫和密封圈，腐蚀隔板固定于样品杆的一定位置，在样品篮带动样品进入坩埚时覆盖坩埚开口，保温隔板能够通过拉杆覆盖坩埚开口。本实用新型通过增设预热部和连接部，提高了腐蚀环境的稳定性，防止骤冷骤热引起的样品破裂，同时在腐蚀隔板和保温隔板的作用下，降低碱蒸汽的挥发。通过隔离套、隔离贴片和上垫、下垫的配合，保护炉腔，能够延长设备使用寿命，也使得常规加热设备能够用于碳化硅的腐蚀，提高经济性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 碳化硅 腐蚀 设备 | ||
【主权项】：
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