[实用新型]一种碳化硅腐蚀设备

权利要求书

1.一种碳化硅腐蚀设备，其特征在于，包括:

加热部、预热部、连接部；

所述加热部包括加热部加热元件、加热部保温层、坩埚，所述加热部加热元件和加热部保温层围绕成加热腔，加热腔上端开口，与预热部配合，所述加热腔内放置有坩埚，所述坩埚用于放置腐蚀剂；

所述预热部包括预热部加热元件、预热部保温层、隔离贴片、样品杆、样品篮、腐蚀隔板和保温隔板，所述预热部加热元件和预热部保温层围绕成预热腔，预热腔下端开口，与加热腔上端开口配合，所述隔离贴片固定于所述预热腔内壁；所述样品篮连接在所述样品杆下方，所述样品杆固定于预热腔且沿轴向上下运动，所述样品篮在样品杆的作用下能够进入坩埚和返回预热腔，所述腐蚀隔板固定于样品杆的一定位置，当所述样品篮进入加热腔的坩埚时腐蚀隔板覆盖所述坩埚开口，使得加热腔和预热腔相互独立；当样品篮位于预热腔时，通过移动保温隔板覆盖坩埚开口，使得加热腔和预热腔相互独立；

所述加热部和预热部之间以连接部相连接，使加热部和预热部相对开合。

2.根据权利要求1所述的一种碳化硅腐蚀设备，其特征在于，所述加热部还包括加热部热电偶，所述加热部热电偶位于加热腔的底部。

3.根据权利要求1所述的一种碳化硅腐蚀设备，其特征在于，所述加热部还包括隔离套，所述隔离套固定于所述加热腔内壁，所述隔离套截面为有外沿的U型，所述坩埚置于隔离套内。

4.根据权利要求1所述的一种碳化硅腐蚀设备，其特征在于，预热部还包括舱门，所述舱门设在预热腔的一侧，用于取放样品。

5.根据权利要求1所述的一种碳化硅腐蚀设备，其特征在于，所述保温隔板连接有拉杆，当样品篮位于预热腔时，保温隔板通过拉杆覆盖坩埚开口。

6.根据权利要求1所述的一种碳化硅腐蚀设备，其特征在于，还包括预热部热电偶，所述预热部热电偶位于预热腔的内部。

7.根据权利要求1所述的一种碳化硅腐蚀设备，其特征在于，所述连接部包括下垫和上垫，所述下垫放置于加热腔上开口外圈，与加热腔上开口的形状和尺寸相配合，所述上垫放置于预热腔下开口，形状与尺寸与预热腔下开口相配合。

8.根据权利要求7所述的一种碳化硅腐蚀设备，其特征在于，所述连接部还包括密封圈，在所述上垫和下垫的外侧，加热部和预热部的最外围放置有耐高温和耐腐蚀的密封圈。

9.根据权利要求7所述的一种碳化硅腐蚀设备，其特征在于，所述上垫和下垫为具有一定弹性的隔热棉材料垫。

10.根据权利要求1所述的一种碳化硅腐蚀设备，其特征在于，所述连接部包括转轴和连接件，加热部和预热部绕转轴开合和关闭，且加热部和预热部通过连接件以一定的压力扣合。