[实用新型]一种同轴结构微波等离子体镀膜设备

摘要

本实用新型公开了一种同轴结构微波等离子体镀膜设备，属于等离子体技术领域，包括有真空腔室，同轴微波源系统，所述同轴微波源系统通过馈入结构将特定频率和模式的能量馈入指定反应区域产生等离子体，并将工作气体沉积于所述空心圆柱衬底内测，完成材料的镀膜过程。本实用新型可根据实际空心圆柱衬底区域完成匹配，成膜效率高，成膜质量好。其采用同轴结构的特殊镀膜结构，可实现对铜、铁、铝、金、银等各种金属材料或复合金属材料空心圆柱体的内部镀膜，且该系统可针对实际的镀膜场景对内导体、玻璃管及密封系统灵活调节，可轻松满足各种生产需求。