[实用新型]热阻式蒸镀装置及蒸镀设备有效
| 申请号： | 202220062545.5 | 申请日： | 2022-01-11 |
| 公开（公告）号： | CN216891171U | 公开（公告）日： | 2022-07-05 |
| 发明（设计）人： | 黄琪兵;杨然翔;王怀超 | 申请（专利权）人： | 重庆康佳光电技术研究院有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 张博 |
| 地址： | 402760 重庆市璧*** | 国省代码： | 重庆;50 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及半导体技术领域，尤其涉及一种热阻式蒸镀装置及蒸镀设备，热阻式蒸镀装置包括蒸镀容器；支撑腔，密封包覆于蒸镀容器外部；喷嘴组件，包括多个喷嘴，设置于支撑腔的顶壁，并与支撑腔连通；栅格板，固定于支撑腔内，且位于蒸镀容器与喷嘴组件之间，栅格板与支撑腔的内侧壁密封连接；以及镀锅，位于喷嘴组件上方，并能够绕自身轴线旋转。蒸镀设备包括蒸镀腔室以及热阻式蒸镀装置。通过本实用新型在基片表面形成的膜层质量佳，致密性更优，同时能保证成膜后膜层厚度的均一性。 | ||
| 搜索关键词： | 热阻式蒸镀 装置 设备 | ||
【主权项】：
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