[发明专利]一种钼旋转管靶制备工艺在审
| 申请号: | 202211731358.2 | 申请日: | 2022-12-31 |
| 公开(公告)号: | CN116140626A | 公开(公告)日: | 2023-05-23 |
| 发明(设计)人: | 单鹏;李德华;邓锐;黄飞虎;王淑辉;李晨浩 | 申请(专利权)人: | 洛阳汇晶新材料科技有限公司 |
| 主分类号: | B22F9/04 | 分类号: | B22F9/04;B22F3/04;B22F3/10;B22F3/20;B22F3/24;B22F1/00 |
| 代理公司: | 郑州中科鼎佳专利代理事务所(特殊普通合伙) 41151 | 代理人: | 蔡佳宁 |
| 地址: | 471000 河南省洛阳市中国(河*** | 国省代码: | 河南;41 |
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| 摘要: | 本发明公开了一种钼旋转管靶制备工艺,包括以下步骤:原料筛分:外购的原料进行通过振动筛进行筛分,从而获得超细粉末作为原料;粉料混合:将不同批次的钼粉放入到混料机中进行混合,混料时间60~90min,使不同批次的钼粉充分混合;冷等静压成型。该钼旋转管靶制备工艺,通过等静压成型,并经低温预烧结和高温烧结,金属粒径细小均匀,能够排除低沸点金属杂质,实现金属致密化,烧结后钼坯密度均匀,并通过烧结空心管坯—挤压法来生产钼旋转靶材,能够提高粉末冶金钼靶材成品的密度、细化其晶粒,生产效率高,成品率高,工艺流程短,可以产生出高纯化、高致密化、以及组织均匀的钼旋转管靶。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 旋转 制备 工艺 | ||
【主权项】:
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