[发明专利]一种Co/氧化物介质混合键合方法在审
| 申请号： | 202211730055.9 | 申请日： | 2022-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN116072604A | 公开（公告）日： | 2023-05-05 |
| 发明（设计）人： | 王晨曦;戚晓芸;马岩;牛帆帆;田艳红 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学 |
| 主分类号： | H01L21/768 | 分类号： | H01L21/768;H01L21/18 |
| 代理公司： | 北京隆源天恒知识产权代理有限公司 11473 | 代理人： | 闵业冰 |
| 地址： | 150000 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种Co/氧化物介质混合键合方法，该方法包括：将含有Co电极和氧化物介质的样品进行多元等离子活化处理，得到待键合样品，其中，所述多元等离子活化处理使用的等离子气体包括至少三种气体；将所述待键合样品对准贴合后进行热压键合，得到Co/氧化物介质混合键合样品。本发明提供的Co/氧化物介质混合键合方法，能够同时实现Co‑Co、氧化物介质‑氧化物介质及Co‑氧化物介质的无凸点混合键合，避免含有机酸的湿法清洗环节及界面有机物的残留，提升界面的可靠性，可实现微小节距下混合键合，为低延迟、低功耗、高带宽、高密度三维集成提供了技术支持。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 co 氧化物 介质 混合 方法 | ||
【主权项】：
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