[发明专利]一种传片对中机构

摘要

本发明提供一种传片对中机构，涉及晶圆对中技术领域，包括固定支座，所述固定支座的下端固定安装有电机，所述电机的输出端固定安装有联轴器，所述联轴器的上端装有传片主轴，所述传片主轴的外表面固装有旋转手臂，所述旋转手臂的侧面装有传片对中手臂，所述固定支座的下端设置有下密封腔体，传片主轴可以带动旋转手臂运动，使得传片对中手臂随旋转手臂的运动绕传片主轴作旋转动作，在传片对中手臂旋转的同时，利用对中轮对导向板的挤压，使对中夹具可以推动晶圆移动，以此在传片对中手臂进行晶圆传片的同时实现对晶圆的对中，从而解决了甲酸回流工艺过程中晶圆产生偏移的风险，避免了晶圆碎片的问题，复位弹簧则可以复位移动后的对中夹具。