[发明专利]各向异性生长成形的二氧化硅颗粒制备方法在审
| 申请号： | 202211705121.7 | 申请日： | 2022-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN116143126A | 公开（公告）日： | 2023-05-23 |
| 发明（设计）人： | 康立明;康利彬;车顺爱;林海峰;谢代金 | 申请（专利权）人： | 临沂市科翰硅制品有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/12 | 分类号： | C01B33/12;C01B33/14;C09G1/02 |
| 代理公司： | 济南泉城专利商标事务所 37218 | 代理人： | 李海霞 |
| 地址： | 276000 山东省*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种各向异性生长成形的二氧化硅颗粒制备方法，属于化学机械抛光材料技术领域。本发明利用硅氧烷水解制备二氧化硅的成形原理，通过优化氨水和有机胺的比例，严格调控颗粒周围环境的酸碱度，诱导颗粒的各向异性生长，最终得到具有异形化外形的二氧化硅颗粒。本发明制备的异型硅溶胶纯度高，可用于硅片抛光，抛光速率较传统球形硅溶胶，更快；并且整个工艺过程简单，成本低效率高，适合大规模落地推广应用。 | ||
| 搜索关键词： | 各向异性 生长 成形 二氧化硅 颗粒 制备 方法 | ||
【主权项】：
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