[发明专利]基于d15 有效
| 申请号： | 202211687980.8 | 申请日： | 2022-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN115697016B | 公开（公告）日： | 2023-07-21 |
| 发明（设计）人： | 耿文平;丑修建;乔骁骏;张慧毅;李晓黄 | 申请（专利权）人： | 中北大学 |
| 主分类号： | H10N30/01 | 分类号： | H10N30/01;H10N30/072;H10N30/30;G01H11/08 |
| 代理公司： | 太原科卫专利事务所(普通合伙) 14100 | 代理人： | 武建云 |
| 地址： | 030051*** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： |
本发明属于半导体器件加工制造技术领域，具体为一种基于d |
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| 搜索关键词： | 基于 base sub 15 | ||
【主权项】：
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