[发明专利]一种干式真空泵水冷变频器安全结构

摘要

本发明公开了一种干式真空泵水冷变频器安全结构，包括主板和水冷层，所述主板的上端面上设置有用于隔离强弱电的隐蔽层，所述隐蔽层远离主板一侧的侧面上设置有弱电区、排线区和接线区，所述水冷层设置在主板的下端，所述水冷层包括有水冷散热器、进水管和排水管。本发明确保了变频器的电气安全，实现真空泵的小型化，水冷变频器底部的水冷散热器可以有效减少半导体工厂内的空间热负荷，起到了节能减排的作用，增加同一功率下，水冷变频器降低70%空间热辐射，通过水冷方式，客观上提高了变频器的耐量，可以达到使变频器中继电器元件提高耐温的20℃的效果，水冷变频器通过线缆和开孔之间的橡胶圈进行了防水，端盖可以防止意外的泵内漏水飞溅。