[发明专利]一种用于超快激光的精密调谐光栅滤波器装置和调谐方法有效

专利信息
申请号: 202211657489.0 申请日: 2022-12-22
公开(公告)号: CN116047782B 公开(公告)日: 2023-10-17
发明(设计)人: 崔庆哲;石文静;胡阿健;武春风;李强;姜永亮;宋祥;刘厚康;胡金萌 申请(专利权)人: 武汉光谷航天三江激光产业技术研究院有限公司
主分类号: G02B27/46 分类号: G02B27/46;G02B27/44;G02B27/42;G02B27/09
代理公司: 武汉知伯乐知识产权代理有限公司 42282 代理人: 王福新
地址: 430000 湖北省武*** 国省代码: 湖北;42
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摘要: 发明公开了一种用于超快激光的精密调谐光栅滤波器装置和调谐方法,装置包括半波片、全反镜、第一衍射光栅、三维精密位移台、第二衍射光栅以及中空屋脊棱镜,所述三维精密位移台包括狭缝装置,所述半波片、第一衍射光栅、狭缝装置、第二衍射光栅和反射镜沿着入射光路的方向依次设置;所述中空屋脊棱镜、第二衍射光栅、狭缝装置、第一衍射光栅和全反镜沿着反射光路的方向依次设置;本发明通过使用中空屋脊棱镜反射激光,避免了在光栅滤波器系统中使用透射光学元器件,在不引入过多额外色散的条件下有效补偿了空间啁啾,同时利用三维精密位移台增加了一维的调节方向,从而有效提高了光栅滤波器调节脉冲光谱宽度的精度。
搜索关键词: 一种 用于 激光 精密 调谐 光栅 滤波器 装置 方法
【主权项】:
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  • 正垣达也 - 株式会社大真空
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  • 光学低通滤波器(30)具有垂直分离双折射板(31)、45°分离双折射板(32)和135°分离双折射板(33)。45°分离双折射板(32)与135°分离双折射板(33)相邻地配置,45°分离双折射板(32)的厚度与135°分离双折射板(33)的厚度大致相等,45°分离双折射板(32)的厚度以及135°分离双折射板(33)的厚度分别比垂直分离双折射板(31)小。从入射光侧观察,入射光L相对于垂直分离双折射板(31)的入射位置(点Pa1)与正方形的分离图案(点P11、P12、P13、P14)的大致中央重合。
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