[发明专利]一种β-Ga2 在审
| 申请号： | 202211645490.1 | 申请日： | 2022-12-19 |
| 公开（公告）号： | CN116959955A | 公开（公告）日： | 2023-10-27 |
| 发明（设计）人： | 李星;皇文涛;单崇新;林超男;万丽 | 申请（专利权）人： | 郑州大学 |
| 主分类号： | H01L21/02 | 分类号： | H01L21/02;B82Y40/00;C23C16/40 |
| 代理公司： | 郑州慧广知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 41160 | 代理人： | 付晓利 |
| 地址： | 450001 河南*** | 国省代码： | 河南;41 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： |
本发明公开了一种β‑Ga |
||
| 搜索关键词： | 一种 ga base sub | ||
【主权项】：
暂无信息
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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