[发明专利]一种水性硅片金刚线切割液在审
申请号: | 202211640096.9 | 申请日: | 2022-12-20 |
公开(公告)号: | CN116426330A | 公开(公告)日: | 2023-07-14 |
发明(设计)人: | 张小飞 | 申请(专利权)人: | 常州高特新材料股份有限公司 |
主分类号: | C10M173/02 | 分类号: | C10M173/02;C10N30/04;C10N30/06 |
代理公司: | 常州市英诺创信专利代理事务所(普通合伙) 32258 | 代理人: | 王美华 |
地址: | 213025 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明属于单晶硅切割技术领域,具体涉及一种水性硅片金刚线切割液,包括由环氧己烷和环氧丙烷组成的表面活性剂、润湿剂、分散剂、醇醚类助剂以及水。本发明的水性硅片金刚线切割液具有良好的润滑、分散、冷却及除屑性能,且制备方法简单,成本低廉,适合推广应用。 | ||
搜索关键词: | 一种 水性 硅片 金刚 切割 | ||
【主权项】:
暂无信息
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