[发明专利]一种水性硅片金刚线切割液在审
| 申请号： | 202211640096.9 | 申请日： | 2022-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN116426330A | 公开（公告）日： | 2023-07-14 |
| 发明（设计）人： | 张小飞 | 申请（专利权）人： | 常州高特新材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C10M173/02 | 分类号： | C10M173/02;C10N30/04;C10N30/06 |
| 代理公司： | 常州市英诺创信专利代理事务所(普通合伙) 32258 | 代理人： | 王美华 |
| 地址： | 213025 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 水性 硅片 金刚 切割 | ||
【权利要求书】：
1.一种水性硅片金刚线切割液，其特征在于，包括如下组分按质量百分比为：
表面活性剂30％
润湿剂10％
分散剂10％
助剂5％
去离子水45％。
2.根据权利要求1所述的水性硅片金刚线切割液，其特征在于，所述表面活性剂为环氧己烷和环氧丙烷按质量比为0.5～1.5:1组成。
3.根据权利要求1所述的水性硅片金刚线切割液，其特征在于，所述润湿剂为聚氧丙烯硬脂酸酯。
4.根据权利要求1所述的水性硅片金刚线切割液，其特征在于，所述分散剂为聚氧乙烯十六烷基醇、聚氧乙烯十八醇中一种。
5.根据权利要求1所述的水性硅片金刚线切割液，其特征在于，所述助剂为醇、醚类有机溶剂，所述醇、醚类有机溶剂是水溶性的，其闪点≥65℃。
6.一种如权利要求1所述的水性硅片金刚线切割液的制备方法，其特征在于，在去离子水中加入表面活性剂、润湿剂、分散剂和助剂，搅拌混合均匀，即得水性硅片金刚线切割液。
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