[发明专利]晶圆检测设备定位方法、装置、计算机设备和存储介质在审
| 申请号： | 202211637558.1 | 申请日： | 2022-12-17 |
| 公开（公告）号： | CN115861264A | 公开（公告）日： | 2023-03-28 |
| 发明（设计）人： | 刘梦茹;熊星;李永杰 | 申请（专利权）人： | 苏州华兴源创科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G06T7/00 | 分类号： | G06T7/00;G06T7/73 |
| 代理公司： | 华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 唐敏 |
| 地址： | 215000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本申请涉及一种晶圆检测设备定位方法、装置、计算机设备、存储介质和计算机程序产品。所述方法包括：识别图像坐标系下的待测晶圆的位置；获取图像坐标系下的标准晶圆的标准位置；根据图像坐标系下的所述标准晶圆的标准位置与所述待测晶圆的位置，获取所述待测晶圆的第一位置偏差；根据所述第一位置偏差以及光栅尺坐标系与图像坐标系间的转换关系，对所述待测晶圆的拍摄点位坐标进行补偿。本申请通过获取图像坐标系下的待测晶圆与标准晶圆间的第一位置偏差，以及光栅尺坐标系与图像坐标系间的转换关系，完成对晶圆检测设备的拍摄点位的补偿，不需要对晶圆的位置进行调整，减少了晶圆检测定位的时间，提高了晶圆检测设备的效率。 | ||
| 搜索关键词： | 检测 设备 定位 方法 装置 计算机 存储 介质 | ||
【主权项】：
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