[发明专利]一种铜蚀刻液组合物在审
| 申请号： | 202211620268.6 | 申请日： | 2022-12-15 |
| 公开（公告）号： | CN115725974A | 公开（公告）日： | 2023-03-03 |
| 发明（设计）人： | 王维康;黄德新;吴际峰;张家明;操岳峰;许磊 | 申请（专利权）人： | 合肥中聚和成电子材料有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/18 | 分类号： | C23F1/18 |
| 代理公司： | 合肥市浩智运专利代理事务所(普通合伙) 34124 | 代理人： | 缪璐欢 |
| 地址： | 231607 安徽省合*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种铜蚀刻液组合物，具体涉及液晶面板加工中铜线路蚀刻技术领域。按组合物的质量100％计，其由10‑30％双氧水、0.01‑1％双氧水稳定剂、0.1‑2％酸、0.1‑2％缓蚀剂、0.5‑5％螯合剂、0.1‑3％表面活性剂、其余为水组成。有益效果：本发明的铜蚀刻液配方提高了铜蚀刻液使用的安全性，为铜蚀刻液的配方升级到更高的使用寿命提供了解决方法，同时此配方体系使用的添加剂都有大规模市场化，成本低，适合大规模使用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 蚀刻 组合 | ||
【主权项】：
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