[发明专利]一种降低烧结后ITO平面靶翘曲的方法在审
| 申请号： | 202211616137.0 | 申请日： | 2022-12-15 |
| 公开（公告）号： | CN116143547A | 公开（公告）日： | 2023-05-23 |
| 发明（设计）人： | 李帅;尹琳;曾光鹏;李明鸿;李叶 | 申请（专利权）人： | 先导薄膜材料（广东）有限公司 |
| 主分类号： | C04B41/80 | 分类号： | C04B41/80;C23C14/34;C23C14/08;C04B35/66;C04B41/00 |
| 代理公司： | 清远市诺誉知识产权代理事务所(普通合伙) 44815 | 代理人： | 龚元元 |
| 地址： | 511500 广东省清*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明属于ITO靶材领域，具体涉及一种降低烧结后ITO平面靶翘曲的方法，在翘曲的ITO平面靶的翘曲的位置的表面施加6‑20N的力，然后升温至850‑950℃，保温一段时间，最后升温至1500～1600℃，保温一段时间。采用本发明的方法具有精度高、靶材受损小的优势。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 降低 烧结 ito 平面 靶翘曲 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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