[发明专利]一种多维度晶圆加工用拾取机械手在审
| 申请号： | 202211593171.0 | 申请日： | 2022-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN115847438A | 公开（公告）日： | 2023-03-28 |
| 发明（设计）人： | 尹明清 | 申请（专利权）人： | 深圳市星国华先进装备科技有限公司 |
| 主分类号： | B25J11/00 | 分类号： | B25J11/00;B25J15/00;B25J15/08 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市龙华区观*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及晶圆加工技术领域，具体是涉及一种多维度晶圆加工用拾取机械手，包括机架和夹取装置，夹取装置包括上夹爪组件、下夹爪组件、旋转驱动器和第一直线驱动组件；上夹爪组件包括第一安装架、第一旋转轴和第一滚轮，第一旋转轴可旋转的安装在第一安装架上，第一滚轮固定套接在第一旋转轴上；下夹爪组件包括第二安装架和第二滚轮，第二安装架滑动安装在机架上，第二滚轮可旋转的安装在第二安装架上；旋转驱动器固定安装在第一安装架上，旋转驱动器的驱动端与第一旋转轴固定连接；第一直线驱动组件的驱动端与第二安装架传动连接。本发明解决了传统夹持装置在开始夹持时晶圆偏离的问题，有效避免了晶圆在夹持过程中出现歪斜滑落的情况。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多维 度晶圆加 工用 拾取 机械手 | ||
【主权项】：
暂无信息
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