[发明专利]生产碳化硅粉料的方法、碳化硅粉料及其应用在审
申请号: | 202211582777.4 | 申请日: | 2022-12-09 |
公开(公告)号: | CN116332183A | 公开(公告)日: | 2023-06-27 |
发明(设计)人: | 李健;林宏达;宋亚滨;翟虎 | 申请(专利权)人: | 成都中浦科技有限公司;东旭科技集团有限公司 |
主分类号: | C01B32/984 | 分类号: | C01B32/984;H01L29/16 |
代理公司: | 北京润平知识产权代理有限公司 11283 | 代理人: | 欧阳琰 |
地址: | 610200 四川省成都市双*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 本发明涉及碳化硅制备技术领域,公开了生产碳化硅粉料的方法、碳化硅粉料及其应用。该方法包括:将原料进行第一合成反应;在惰性气体的存在下,将第一合成反应的产物进行第二合成反应;其中,原料由混合料A和混合料B沿垂直方向依次层叠堆积而得,混合料A和混合料B中均含有硅粉和碳粉;混合料A的层数与混合料B的层数相同且不小于1;混合料A的硅碳摩尔比大于1:1;混合料B的硅碳摩尔比小于1:1;混合料A和混合料B的用量使得原料的硅碳摩尔比等于1:1‑1.03。该方法能够避免反应前期硅碳上下分层,使得混合料在反应过程中层与层之间再次反应混合,达到更充分的反应,进而提高产率。此外,该方法也不引入新的杂质且成本较低。 | ||
搜索关键词: | 生产 碳化硅 方法 料及 应用 | ||
【主权项】:
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