[发明专利]声学谐振器及其制作方法在审
| 申请号： | 202211566338.4 | 申请日： | 2022-12-07 |
| 公开（公告）号： | CN115913164A | 公开（公告）日： | 2023-04-04 |
| 发明（设计）人： | 请求不公布姓名 | 申请（专利权）人： | 偲百创（深圳）科技有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/17 | 分类号： | H03H9/17;H03H9/13;H03H9/02;H03H3/02;H03H3/04 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 马迪 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市福田区梅林街道梅都社*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明实施例提供一种声学谐振器及其制作方法，涉及压电谐振器技术领域，声学谐振器的制作方法包括：在衬底的一侧形成底部叠层结构；在所述底部叠层结构远离所述衬底的一侧形成底电极层、压电层和顶电极层；在所述底电极层、所述压电层以及所述顶电极层远离衬底的一侧形成频率温度系数补偿层。本发明实施例提供一种声学谐振器及其制作方法，以实现在高频下工作，低损耗、宽带宽、低温灵敏度、小尺寸和易于制造。 | ||
| 搜索关键词： | 声学 谐振器 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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