[发明专利]一种用于低温下石英晶体微天平质量标定的装置及方法在审
| 申请号： | 202211558303.6 | 申请日： | 2022-12-06 |
| 公开（公告）号： | CN115876299A | 公开（公告）日： | 2023-03-31 |
| 发明（设计）人： | 植晓琴;舒闻涵;邱利民;漆映荷;叶恒扬 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | G01G23/01 | 分类号： | G01G23/01 |
| 代理公司： | 杭州天勤知识产权代理有限公司 33224 | 代理人： | 彭剑 |
| 地址： | 310058 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于低温下石英晶体微天平质量标定的装置及方法，包括：低温密封腔、椭偏仪设备、温度控制单元、压力及组分控制单元；低温密封腔内设有低温冷台、发射电极及靶材，低温冷台用于放置石英晶振，通过磁控溅射的发射电极将靶材均匀沉积至石英晶振表面；椭偏仪设备包括起偏器和检偏器，起偏器和检偏器分别设置在低温密封腔的两个侧壁上；温度控制单元，设置在低温冷台下部，用于将低温冷台的冷表面温度控制在设定的范围内；压力及组分控制单元用于控制低温密封腔达到实验所需的真空度并提供实验所需的气氛。利用本发明，可以得到低温条件下石英晶振的频率和其表面所沉积质量的关系曲线，达到低温质量标定的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 低温 石英 晶体 天平 质量 标定 装置 方法 | ||
【主权项】：
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