[发明专利]一种滤波器以及滤波器的制备方法在审
| 申请号： | 202211525201.4 | 申请日： | 2022-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN115714587A | 公开（公告）日： | 2023-02-24 |
| 发明（设计）人： | 王矿伟;杨清华 | 申请（专利权）人： | 苏州汉天下电子有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02;H03H3/02 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 蔡舒野 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市苏州工*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本申请提供了一种滤波器以及滤波器的制备方法。该滤波器包括：衬底、位于衬底上的至少一个谐振器和至少一个连接点；谐振器包括下电极、压电层和上电极的叠层，至少一个谐振器还包括调整结构，调整结构位于谐振器的下电极远离衬底的一侧；连接点包括第一导电层与导电结构，导电结构包括第二导电层和第三导电层中的至少一个，压电层包括第一通槽，第一通槽用于露出第一导电层；第一导电层和下电极位于同层，第二导电层和上电极位于同层，第三导电层和调整结构位于同层。本申请提供的技术方案降低了压电层的刻蚀难度，增大了连接点的串联电阻，避免了谐振器的导电膜层图形化过程中去除覆盖连接点的部分从而造成材料的浪费。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 滤波器 以及 制备 方法 | ||
【主权项】：
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