[发明专利]碳化钨或碳化硅工件表面的超精密磨削方法在审
| 申请号： | 202211518925.6 | 申请日： | 2022-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN115890355A | 公开（公告）日： | 2023-04-04 |
| 发明（设计）人： | 龙青松;梁嘉明;朱江;黄鑫;何鑫 | 申请（专利权）人： | 成都光明南方光学科技有限责任公司 |
| 主分类号： | B24B1/00 | 分类号： | B24B1/00;B24B35/00;B24B57/02;B24B49/00 |
| 代理公司： | 成都希盛知识产权代理有限公司 51226 | 代理人： | 蒲敏 |
| 地址： | 610500 四川省*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明提供一种碳化钨或碳化硅工件表面的超精密磨削方法，该方法包括如下步骤：采用水溶性磨削液，并采用树脂砂轮对工件进行预设磨削参数及磨削路径下的半精密磨削加工；采用油性磨削液，并采用细陶瓷砂轮对工件进行预设磨削参数及磨削路径下的精密磨削加工；对精密磨削加工后的工件进行超精密磨削加工，通过轮廓仪测试工件面型精度PV≤0.2μm，通过干涉仪测量工件表面粗糙度Ra≤5nm，中频≤35nm，使用显微镜观察工件表面磨削纹路呈现规则均匀的网格状。本发明采用半精密磨削‑精密磨削‑超精密磨削加工流程，在工件磨削加工过程中降低砂轮磨损，工件表面均匀性好，无凹坑凸起微裂纹等加工缺陷，可广泛应用在超精密磨削加工领域。 | ||
| 搜索关键词： | 碳化 碳化硅 工件 表面 精密 磨削 方法 | ||
【主权项】：
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