[发明专利]一种降低单晶硅棒裂纹位错的收尾工艺在审
| 申请号： | 202211473624.6 | 申请日： | 2022-11-22 |
| 公开（公告）号： | CN115852474A | 公开（公告）日： | 2023-03-28 |
| 发明（设计）人： | 韩凯;谷守伟;武志军;岳彩广;卢瑶;关云生 | 申请（专利权）人： | 宁夏中环光伏材料有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/14 | 分类号： | C30B15/14;C30B15/20;C30B29/06 |
| 代理公司： | 天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 12213 | 代理人： | 栾志超 |
| 地址： | 750002 宁夏回族自治区*** | 国省代码： | 宁夏;64 |
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| 摘要： | 本发明提供一种降低单晶硅棒裂纹位错的收尾工艺，包括S1:瞬时提高加热功率，瞬时降低拉速至第一拉速，再以第一加速度降低所述第一拉速至第二拉速，晶转和埚转为等径段的晶转和埚转，并保持不变为第一晶转和第一埚转，单晶直径逐渐缩小；S2:所述第二拉速以第二加速度提升至第三拉速，所述第一晶转和第一埚转以第三加速度提升至第二晶转和第二埚转，所述单晶直径继续缩小；S3:所述第三拉速以所述第二加速度提升至第四拉速，所述第二晶转和第二埚转以第四加速度提升至第三晶转和第三埚转，收尾结束。本发明的有益效果是有效的减少了单晶的断棱，缩短了收尾时间，对单晶的位错和裂纹进行有效的控制，提高了单晶产品的合格率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 降低 单晶硅 裂纹 收尾 工艺 | ||
【主权项】：
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