[发明专利]质量流量控制器的控制方法、装置、电子设备及存储介质在审
| 申请号： | 202211466636.6 | 申请日： | 2022-11-22 |
| 公开（公告）号： | CN115755806A | 公开（公告）日： | 2023-03-07 |
| 发明（设计）人： | 吕卫星;胡石林;唐俊;张平柱;李乐斌;骆学军;刘振兴 | 申请（专利权）人： | 中国原子能科学研究院 |
| 主分类号： | G05B19/418 | 分类号： | G05B19/418 |
| 代理公司： | 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 | 代理人： | 陈煌辉;蒋雅洁 |
| 地址： | 102413 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种质量流量控制器的控制方法、装置、电子设备及存储介质。其中，该方法包括：确定第一电磁阀的的开关启动时长是否达到设定时长，第一电磁阀用于连通质量流量控制器与第一工艺单元；质量流量控制器连接至少两个电磁阀，每个电磁阀连接一个工艺单元，第一电磁阀为所述至少两个电磁阀中的任意一个电磁阀；至少两个电磁阀同时只能启动一个电磁阀的的开关；在第一电磁阀的的开关启动时长达到设定时长的情况下，按照设定启动顺序控制至少两个电磁阀的开关，使得质量流量控制器与第二工艺单元连通。 | ||
| 搜索关键词： | 质量 流量 控制器 控制 方法 装置 电子设备 存储 介质 | ||
【主权项】：
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