[发明专利]一种芯片检测装置在审
| 申请号： | 202211407562.9 | 申请日： | 2022-11-10 |
| 公开（公告）号： | CN115672768A | 公开（公告）日： | 2023-02-03 |
| 发明（设计）人： | 徐桂平;赖俊魁;陈定强 | 申请（专利权）人： | 长园半导体设备（珠海）有限公司 |
| 主分类号： | B07C5/02 | 分类号： | B07C5/02;B07C5/34 |
| 代理公司： | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人： | 张志辉 |
| 地址： | 519000 广东省珠海*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种芯片检测装置，包括底座、取料台、吸料组件和检测组件，底座设有转盘；取料台安装于底座；吸料组件安装于转盘；检测组件包括顶面检测件、底面检测件和侧面检测件，顶面检测件安装于取料台的上方，底面检测件安装取料台的一侧并位于吸料组件的下方，侧面检测件安装于转盘的一侧，顶面检测件、底面检测件和侧面检测件沿转盘的周向间隔布置。通过设置吸料组件吸附芯片，减少芯片在上下料过程中产生的振动、移位等问题，可以有效提高芯片的良品率，通过设置检测组件，检测组件直接检测芯片表面，没有透明玻璃等中间介质阻挡，可以有效提高检测组件的精确度及检测结果的准确性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 芯片 检测 装置 | ||
【主权项】：
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