[发明专利]薄膜沉积设备进气模块以及薄膜沉积设备

摘要

本发明提供了一种薄膜沉积设备进气模块及薄膜沉积设备。该进气模块包括中间进气管路及第二进气管路。中间进气管路贯穿于薄膜沉积设备进气模块的顶部和底部。第二进气管路包括横向进气支路、纵向的双层环形管路及连通管路。横向进气支路具有进气口和出气口，进气口开设于薄膜沉积设备进气模块的侧部。纵向的双层环形管路包括第一环形管路和第二环形管路。第一环形管路的内径小于和第二环形管路的内径。第二环形管路的顶端入口与横向进气支路的出气口无缝连通。连通管路位于第一环形管路和第二环形管路之间，所述连通管路包括至少一个横向支路，各横向支路的两端分别开设于所述第一环形管路和所述第二环形管路的侧壁。