[发明专利]振动传感器的制作方法以及振动传感器在审
申请号: | 202211376076.5 | 申请日: | 2022-11-04 |
公开(公告)号: | CN115711668A | 公开(公告)日: | 2023-02-24 |
发明(设计)人: | 阎堂柳;张剑;端木鲁玉 | 申请(专利权)人: | 歌尔微电子股份有限公司 |
主分类号: | G01H17/00 | 分类号: | G01H17/00 |
代理公司: | 北京鸿元知识产权代理有限公司 11327 | 代理人: | 张娓娓;袁文婷 |
地址: | 266000 山东省青岛市崂*** | 国省代码: | 山东;37 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明提供一种振动传感器的制作方法以及振动传感器,其中的制作方法,包括:将塑封材料浇注成型为塑封本体,其中,在所述塑封本体与塑封产品相适配,所述塑封产品包括至少一个芯片;将所述塑封产品的表面具有芯片的一面朝向所述塑封本体;将所述塑封产品与所述塑封本体塑封在一起,形成具有塑封结构的振动传感器。本发明的目的在于在保证产品性能的前提下,采用新的封装结构减少器件尺寸。 | ||
搜索关键词: | 振动 传感器 制作方法 以及 | ||
【主权项】:
暂无信息
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