[发明专利]一种细晶IZO靶材制备方法在审
| 申请号： | 202211346941.1 | 申请日： | 2022-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN115745573A | 公开（公告）日： | 2023-03-07 |
| 发明（设计）人： | 王志强;张兵;曾墩风;马建保;陶成 | 申请（专利权）人： | 芜湖映日科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C04B35/01 | 分类号： | C04B35/01;C04B35/453;C04B35/622;C23C14/08;C23C14/22 |
| 代理公司： | 南京正联知识产权代理有限公司 32243 | 代理人： | 殷明凤 |
| 地址： | 241000 安徽省芜湖市(安徽)自由*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： |
本发明公开了一种细晶IZO靶材制备方法，属于靶材技术领域。使用BET30m |
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| 搜索关键词： | 一种 izo 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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