[发明专利]一种细晶IZO靶材制备方法在审
| 申请号： | 202211346941.1 | 申请日： | 2022-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN115745573A | 公开（公告）日： | 2023-03-07 |
| 发明（设计）人： | 王志强;张兵;曾墩风;马建保;陶成 | 申请（专利权）人： | 芜湖映日科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C04B35/01 | 分类号： | C04B35/01;C04B35/453;C04B35/622;C23C14/08;C23C14/22 |
| 代理公司： | 南京正联知识产权代理有限公司 32243 | 代理人： | 殷明凤 |
| 地址： | 241000 安徽省芜湖市(安徽)自由*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 izo 制备 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种细晶IZO靶材制备方法，其特征在于，使用BET30m2/g以上的纳米氧化锌粉末，首先将氧化锌粉末湿法球磨得到浆料，再加入氧化铟粉末湿法球磨，粉末质量比，氧化铟：氧化锌＝90:10，得到IZO浆料；而后喷雾造粒，冷等静压成型，烧结而成。
2.根据权利要求1所述细晶IZO靶材制备方法，其特征在于，所述纳米氧化锌粉末为BET35m2/g。
3.根据权利要求1所述细晶IZO靶材制备方法，其特征在于，所述烧结的温度1450摄氏度。
4.根据权利要求3所述细晶IZO靶材制备方法，其特征在于，所述烧结的保温时间20-40小时。
5.根据权利要求3所述细晶IZO靶材制备方法，其特征在于，所述烧结过程中升温1300℃以上时，采用0.03-0.05℃/min升温方式。
6.根据权利要求1所述细晶IZO靶材制备方法，其特征在于，所述氧化铟粉末BET5-10m2/g。
7.根据权利要求1所述细晶IZO靶材制备方法，其特征在于，所述氧化锌粉末湿法球磨的方法为，装有φ1-2mm锆珠的球磨罐中加入一定量纯水，纯水的重量与需要球磨的氧化锌粉末重量一致，搅拌时间16-24h。
8.根据权利要求1所述细晶IZO靶材制备方法，其特征在于，所述喷雾造粒后粉末粒径D50＝35-50um，松装密度1.4g/cm3以上。
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