[发明专利]一种工艺质量分析方法、装置及可读存储介质在审
| 申请号： | 202211345859.7 | 申请日： | 2022-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN115689115A | 公开（公告）日： | 2023-02-03 |
| 发明（设计）人： | 杨帅;侯雨;银波;宋玲玲;朱晓明;甘新业;高静;候春霞;王新月 | 申请（专利权）人： | 新特能源股份有限公司;新疆新特晶体硅高科技有限公司 |
| 主分类号： | G06Q10/063 | 分类号： | G06Q10/063;G06Q50/04 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 金鲜英 |
| 地址： | 831500 新疆维吾尔自治区乌鲁木*** | 国省代码： | 新疆;65 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种工艺质量分析方法、装置及可读存储介质，涉及工艺质量管控技术领域。所述工艺质量分析方法包括：获取多晶硅生产工序中的至少一个工艺参数的运行数据；对所述运行数据进行筛选，获得筛选后的运行数据；根据筛选后的运行数据，对所述多晶硅生产工序进行工艺质量分析，得到工艺质量分析结果；其中，所述工艺质量分析为以下至少一项：过程能力分析；方差分析；试验设计分析；可靠性分析；多变量分析。本发明的方案能够对多晶硅生产工序中的工艺参数进行分析，从而为多晶硅的质量提升奠定基础。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 工艺 质量 分析 方法 装置 可读 存储 介质 | ||
【主权项】：
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G06 计算；推算；计数
G06Q 专门适用于行政、商业、金融、管理、监督或预测目的的数据处理系统或方法；其他类目不包含的专门适用于行政、商业、金融、管理、监督或预测目的的处理系统或方法
G06Q10-00 行政；管理
G06Q10-02 .预定，例如用于门票、服务或事件的
G06Q10-04 .预测或优化，例如线性规划、“旅行商问题”或“下料问题”
G06Q10-06 .资源、工作流、人员或项目管理，例如组织、规划、调度或分配时间、人员或机器资源；企业规划；组织模型
G06Q10-08 .物流，例如仓储、装货、配送或运输；存货或库存管理，例如订货、采购或平衡订单
G06Q10-10 .办公自动化，例如电子邮件或群件的计算机辅助管理
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